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系統架構與產品組成

 主要規格 卓越性能 掃描影像 正確的量測理論 與大廠之比較
品 名 組 成 數 量
掃描探針顯微儀主機(AFM主機) 1
多功能掃描系統電子控制器，含信號處理器 1
即時控制電腦主機與後影像處理軟體 控制電腦主機 1
16位元影像資料擷取與控制卡
即時控制與資料擷取軟體(SPMController)
資料與影像處理軟體(SPMIP)
配件 AFM換針治具 1
AFM探針 10
XY掃描器校正用樣品 1
教育訓練 原理、掃描最佳化 1天
操作訓練 1天
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