對於任何一台AFM機器，從其系統雜訊之大小(或稱為背景雜訊，即於不實際掃圖之狀況下，AFM所呈現出最基本的雜訊)，即可一窺其性能之優略。當然，系統雜訊越小，意味著該機器可具有更佳的影像解析度。一般，於輕敲模式操作下，可由以下簡單之操作，取得系統雜訊。

選 項		說 明
操作模式		輕敲模式
探針振幅		最小
回授功能		關閉(即不實際下針掃樣品)
掃描範圍		任意大小(本次實驗為50x50um)
觀察紀錄		Z軸高度之分佈值及振幅RMS電壓之分佈值